Микро- и нанотехнологии – Евгений Вячеславович Ильичев

Пособие включает в себя краткие основные сведения о физических эффектах в сверхпроводниках, справочный материал, задачи и примеры их решения. Основная цель настоящего пособия – дать краткую и необходимую информацию для закрепления материала в рамках курса Микро- и нанотехнологии.

Предназначено для магистрантов факультета радиотехники и электроники, направление 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств».