Микросистемная техника

Пособие посвящено вопросам компьютерного моделирования различных сенсоров и микросистем, из числа разработанных и примен...

Целью курса является формирование знаний о физико-химических закономерностях и технологиях получения современных тонкопл...

Изложены физические основы наноэлектроники, нанофотоники и микросистемной техники. Рассмотрены вопросы, связанные с прим...

Рассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектромеханических систем и описаны примеры использования с...

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических яв...